Niedertemperaturbonden für rekonfigurierbare Resonatorarrays (C 04)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1998 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5479322

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 379: Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Teilprojektleiterin: Professorin Dr.-Ing. Karla Hiller