Automatisierte Justage mit aerostatisch gelagertem Impulsantrieb für die Feinwerk- und Mikrotechnik

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Wolfgang Schinköthe
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 1997 to 2002
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5090226

No abstract available

• DFG Programme: Research Grants
• Participating Person: Dr.-Ing. Volker Guyenot