Automatisierte Justage mit aerostatisch gelagertem Impulsantrieb für die Feinwerk- und Mikrotechnik

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Wolfgang Schinköthe
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5090226

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Dr.-Ing. Volker Guyenot