Automatisierte Justage mit aerostatisch gelagertem Impulsantrieb für die Feinwerk- und Mikrotechnik

• Antragsteller: Dr.-Ing. Volker Guyenot
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5090232

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• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Professor Dr.-Ing. Wolfgang Schinköthe