Kombinatorische Ionenstrahldeposition von quaternären Schichtsystemen basierend auf thermochromem VO2 – eine systematische Untersuchung

• Antragsteller: Dr. Martin Becker
• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung seit 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 510965362

Der vorliegende Projektantrag behandelt grundlegende Fragestellungen zur erfolgreichen industriellen Nutzung von Vanadiumdioxid (VO2) in intelligenter Gebäudeverglasung und fokussiert sich auf die kombinatorische Abscheidung quaternärer Dünnschichten auf Basis von thermochromem VO2 mittels Ionenstrahl-Sputterdeposition. Die folgende Charakterisierung der strukturellen und optischen Eigenschaften sollen ein Verständnis der fundamentalen Zusammenhänge zwischen Prozessparametern der Schichtherstellung und Schichteigenschaften ermöglichen. Dabei findet die Optimierung der Dotierkonzentrationen auf Basis prozessspezifischer Größen, dem Einfluss der Prozessgeometrie auf präferentielles Sputtern, Kompositionszonen und Dotierkonzentrationen statt. Die Bestimmung des Schaltverhaltens ermöglicht ein Verständnis des Einflusses einzelner Dotanden sowie deren Wechselwirkung. Die Identifikation möglicher Synergieeffekte der Dotanden mit dem Fokus auf Nachhaltigkeit wird angestrebt.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen