Untersuchung und Optimierung der magnetoelastischen und der Hochfrequenzeigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten am Beispiel induktiver Mikrobauelemente

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen
• Subject Area: Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
• Term: from 1998 to 2003
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5116428

Im ersten Antragszeitraum war ein als Dehnmesssensor dienender magnetoelastischer Mikrotransformator entwickelt worden. Anhand von Aufbau und Test von ersten Mustern wurde die Brauchbarkeit des Konzeptes nachgewiesen. Allerdings stellte sich die Technologie des gewählten Entwurfes als sehr komplex heraus. Im zweiten Antragszeitraum sollen die Untersuchungen am Mikrotransformator weitergeführt und ausgewertet werden. Der erste Schwerpunkt liegt dabei in einer Verbesserung des Mikrotransformators. Dabei soll einerseits die Anzahl der Maskenschritte verkleinert werden. Andererseits ist zur Vereinfachung der Technologie, wo möglich, ein galvanischer Aufbau angedacht. Ferner soll, unterstützt durch Modellbildung und Simulation, der Wirkungsgrad des Mikrotransformators optimiert werden. Der zweite Schwerpunkt liegt dann in der Erforschung und Optimierung des Zusammenwirkens zwischen magnetoelastischer Funktionsschicht und Gesamtaufbau anhand des vereinfachten Mikrotransformators.

• DFG Programme: Research Grants
• Participating Person: Professor Dr. Anton Heuberger