Dünnschicht-Röntgendiffraktometer

• Fachliche Zuordnung: Materialwissenschaft
• Förderung: Förderung in 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 513268860

Dünnschicht-Röntgendiffraktometrie ist die wahrscheinlich wichtigste Untersuchungsmethode für dünne Schichten und Dünnschicht-Heterosysteme. Insbesondere gilt dies für epitaktische Schichtsysteme, in denen die biaxiale Verspannung ein wichtiger Parameter der Funktionseigenschaften ist. Im Fachgebiet Dünne Schichten werden an zwei Oxid-/Nitrid-Molekularstrahlepitaxie-Anlagen (MBE), zwei Systemen zur gepulsten Laserdeposition (PLD) und zwei Kathodenzerstäubungssystemen täglich Funktions-schichten hergestellt. Hinzu kommt ein jüngst genehmigtes UHV Magnetron-Co-Sputtering-System, das in einer Kooperation des Fachgebiets Neue Materialien Elektronik (Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik) und des Fachgebiets Dünne Schichten (Fachbereich Materialwissenschaft) in einem gemeinsamen Cluster-System betrieben werden soll. Der Forschungsschwerpunkt liegt auf dünnen Schichten aus elektronischen Funktionsmaterialien, die in Modell-Bauteile (z.B. Memristoren, Varaktoren, spintronische Bauelemente, Dünnschicht-Batterien etc.) integriert und untersucht werden. Durch die gewachsene Anzahl an modernen Dünnschichtmethoden ist die Anschaffung eines modernen und auf dem neuesten Stand der Technik befindlichen Dünnschicht-Röntgendiffraktometers unabdingbar.Die wesentlichen Anforderungen an das Gerät sind ein hoher Röntgenfluss kombiniert mit einem zweidimensionalen Detektor, der eine schnelle Abbildung des reziproken Raums ermöglicht. Ebenso wichtig ist eine hohe Auflösung zur Bestimmung von Gitterparametern und schwachen Reflexen in Multischichtsystemen und integrierte Auswertungssoftware. Aufgrund der Vielzahl der die Anlage nutzenden Personen sind Bedienerfreundlichkeit und automatisierte Messvorgänge weitere relevante Kriterien.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Dünnschicht-Röntgendiffraktometer
• Gerätegruppe: 4010 Einkristall-Diffraktometer
• Antragstellende Institution: Technische Universität Darmstadt
• Leiter: Professor Dr. Lambert Alff