Piezoelektrischer Sensor/Aktor mit integrierter Elektronik in Hetero-Mikromechanik

• Antragsteller: Professor Dr. Andreas Schlachetzki
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5155048

Ziel des Projektes ist es, einen Sensor/Aktor in Hetero-Mikromechanik (HMM) zu entwickeln. Diese neue Technik ist eine Kombination von planarer Volumenmikromechanik, Oberflächenmikromechanik und der III/V-Halbleiter-Technologie auf Silizium Substraten. Dabei dienen epitaktisch aufgewachsene III/V-Halbleiterschichten gleichzeitig als Maskierungs-, mechanische Träger-, sowie optoelektronische/piezoelektrische Funktionsschichten. Piezoelektrische und piezoresistive Eigenschaften sollen an einer so hergestellten Struktur untersucht werden. Damit erlaubt die Hetero-Mikromechanik zum ersten Mal, die piezoelektrischen und optoelektronischen Möglichkeiten der III/V-Halbleiter mit der Mikroelektronik in Si in monolithischer Integration zu verknüpfen. Es soll aufgezeigt werden, daß Sensoren/Aktoren in HMM höhere Empfindlichkeiten als ähnliche Strukturen in Oberflächenmikromechanik besitzen. Zeigen sich bei der Charakterisierung der Strukturen überzeugende Ergebnisse, soll in einem Nachfolgeantrag ein Drehratensensor in HMM entwickelt und realisiert werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen