Entwurf und integriert-optische Realisierung eines abstimmbaren Ti:Saphir-lasers

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5170036

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und Untersuchung eines integriert-optischen Ti:Saphir-Lasers als Mikrosystem. Dieser Lasertyp, bisher aufgebaut aus makroskopischen Elementen, kann in einem Wellenlängenbereich von 600 bis 1000 nm betrieben werden. In diesem Vorhaben soll auf der Basis von bereits erprobten Strukturen und technologischen Verfahren ein miniaturisiertes, integriert-optisches System entstehen. Dazu werden in thermisch oxidierten durch Plasmaätzverfahren in Silizium erzeugten Gräben aus metallorganischen Verbindungen in einem PEVCD-Prozeß titandotierten Aluminiumoxid Wulst-Wellenleiter abgeschieden. Dieser Wellenleitertyp zeichnet sich durch besonders niedrige Dämpfung, verlustarme Führung auch in Strukturen mit engen Krümmungsradien aus und vermeidet geätzte Strukturkanten im lichtführenden Bereich. Zur Ankopplung von Fasern für Pump- und Laserlicht sind Übergangs- und Taperstrukturen zwischen Wulst- und streifenbelasteten Wellenleitern mit Hilfe lokaler Abschattungen bei der Beschichtung zu realisieren. Die Abstimmung der Laserwellenlänge kann sowohl thermisch wie elastooptisch erfolgen.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen