Sub-Wellenlängen-Auflösung bei einem Interferenzmikroskop

• Antragsteller: Professor Dr. Gerd Leuchs
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5171130

Ziel des Vorhabens ist es, mit einem Interferenzmikroskop im Fernfeld eine Auflösung zu erreichen, die deutlich besser als die Rayleighsche Auflösungsgrenze ist. Es geht dabei nicht um eine quantitative Verbesserung durch Kurvenanpassung bei gutem Signal-Rausch-Verhältnis, sondern um eine qualitative Verbesserung durch die Auswertung von Phasensingularitäten, die in der Umgebung einer sub-Wellenlängenstruktur im reflektierten Licht entstehen und ins Fernfeld abgebildet werden können. Experimente haben gezeigt, daß auf diese Weise eine Vermessung solch kleiner Strukturen möglich ist, wenn bereits a priori Information über die Geometrie vorliegt. In diesem Vorhaben soll untersucht werden, inwieweit man auf diese Vorab-Information verzichten kann, wenn bei der Analyse weitere Parameter für die Auswertung herangezogen werden. Solche Parameter sind der Gradient der Phase des rückgesteuerten Feldes in der Nähe der Singularitäten und die Polarisation bei der Beleuchtung (linear, radial, tangential).

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen