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Synthese von vergrabenen und optisch transparenten Übergangs-Metalloxidschichten durch Hochdosis-Ionenimplantation

Fachliche Zuordnung Physik der kondensierten Materie
Förderung Förderung von 1999 bis 2002
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5193596
 
Ziel des Forschungsvorhabens ist es, vergrabene und optisch transparenten Übergangs-Metalloxidschichten durch HochdosisSauerstoffionenimplantation und nachfolgender thermischer Behandlung zu synthetisieren. Bevorzugt sollen binäre Molybdän- bzw. Titanoxidschichten hergestellt werden, wobei der Syntheseprozeß insbesondere mittels in-situ Röntgendiffraktometrie bei unterschiedlichen Temperaturen untersucht werden soll. Eine Optimierung des Vorhabens hinsichtlich des Einsatzes vergrabener Oxidschichten für potentielle Anwendungsfelder in der Elektronik bzw. Optoelektronik wird angestrebt.
DFG-Verfahren Sachbeihilfen
 
 

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