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Synthese von vergrabenen und optisch transparenten Übergangs-Metalloxidschichten durch Hochdosis-Ionenimplantation

Subject Area Condensed Matter Physics
Term from 1999 to 2002
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5193596
 
Ziel des Forschungsvorhabens ist es, vergrabene und optisch transparenten Übergangs-Metalloxidschichten durch HochdosisSauerstoffionenimplantation und nachfolgender thermischer Behandlung zu synthetisieren. Bevorzugt sollen binäre Molybdän- bzw. Titanoxidschichten hergestellt werden, wobei der Syntheseprozeß insbesondere mittels in-situ Röntgendiffraktometrie bei unterschiedlichen Temperaturen untersucht werden soll. Eine Optimierung des Vorhabens hinsichtlich des Einsatzes vergrabener Oxidschichten für potentielle Anwendungsfelder in der Elektronik bzw. Optoelektronik wird angestrebt.
DFG Programme Research Grants
 
 

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