Spannungsbeeinflussung in c-BN-Schichten durch Strukturmodifizierung des Interfacebereiches h-BN/c-BN mittels gezielter Beimengungen

• Applicant: Professor Dr. Frank Richter (†)
• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: from 1999 to 2003
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5214366

Im Projekt soll untersucht werden, wie sich der Einbau bestimmter Fremdatome auf die Realstruktur der Schichten, insbesondere auf die Größe der ungestreßten Gitterkonstanten auswirkt. Zur Einbringung der Fremdatome soll einmal der Arbeitsgaseinbau während des Sputterns ausgenutzt werden, zum anderen sollen während des Wachstumsprozesses in geeigneter Weise homologe Beimengungen (bevorzugt Al, Ga und As) zugesetzt werden.Eine wichtige praktische Zielsetzung des Vorhabens ist es, Möglichkeiten für eine gezielte Beeinflussung der Gitterkonstanten zu finden und diese zum Abbau der typischen starken Druckspannungen und damit zur Haftungsverbesserung auszunutzen.

• DFG Programme: Research Grants