Project Details
Projekt
Inspektionssystem zur Defektanalyse und -topometrie mittels diffraktiver konfokaler Mikroskopie
Applicant
Professor Dr.-Ing. Hans J. Tiziani
Subject Area
Measurement Systems
Term
from 1995 to 1999
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5222788
No abstract available
DFG Programme
Priority Programmes
Subproject of
SPP 735:
Automatische Sichtprüfung technischer Objekte
