Neuartige Methoden zur röntgenographischen Spannungsermittlung an Mikrosystemen unter Einsatz von Parallelstrahldiffraktometrie und Flächendetektoren

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Detlef Löhe
• Fachliche Zuordnung: Metallurgische, thermische und thermomechanische Behandlung von Werkstoffen
• Förderung: Förderung von 1995 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5226954

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• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen