Entwicklung eines flexiblen Zweirobotersystems für die Mikrohandhabung im Rasterelektronenmikroskop

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Sergej Fatikow
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2000 to 2006
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5229194

No abstract available

• DFG Programme: Research Grants