Entwicklung eines flexiblen Zweirobotersystems für die Mikrohandhabung im Rasterelektronenmikroskop

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Sergej Fatikow
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2000 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5229194

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen