Chemie, Struktur und Eigenschaften von Laser-CVD-Silicium

• Applicant: Professor Dr. Herbert Stafast
• Subject Area: Physical Chemistry
• Term: from 1996 to 2000
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5236578

Das grundlegende Verständnis von Zusammenhängen zwischen der Gasphasenchemie von sauerstoffhaltigen Siliciumverbindungen HxSiyOz und der Entstehung von Festkörpern durch Bildung von Si-Si- und Si-O-Bindungen soll durch experimentelle Untersuchungen vertieft werden. Als Modell soll die laserinduzierte Gasphasenchemie von H-Silasesquioxanen (HSiO1,5)n dienen, wobei die möglichen Verknüpfungen von Silasesquioxan-Molekülen als Elementarschritte für die dreidimensionale Netzwerkbildung angesehen werden. Speziell sollen photochemische Primärschritte in Abhängigkeit von der Anregungswellenlänge ermittelt und zur Steuerung der Vernetzung genutzt werden. Hierfür sollen die UV- und Vakuum-UV-spektralen Eigenschaften der H-Silasesquioxane (HSiO1,5)n für n = 4,6,8,...16 untersucht werden.

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 472: Spezifische Phänomene in der Silicium-Chemie
• Participating Persons: Dr. Gudrun Andrä; Privatdozent Dr. Fritz Falk