Multiachs-Nanofabrikationsmaschine (MNFM)

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Thomas Fröhlich
• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung seit 2024
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 523923714

Das an der TU Ilmenau eingerichtete Graduiertenkolleg „Spitzen- und laserbasierte 3D-Nano-fabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab)“ hat in seiner ersten Antragsphase hervorragende Ergebnisse in der Grundlagenforschung zur synergetischen Verbindung hochentwickelter Nanofabrikationstechniken mit den herausragenden Fähigkeiten von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPMM) erzielt. Insbesondere die Forschungsarbeiten zur Erweiterung der NPMM um zwei weitere Rotationsfreiheitsgrade zu einem ersten 5-Achs-NPMM-Demonstrator kombiniert mit einem konfokalen Mikrosensor und erste Ergebnisse der Implementierung eines Nanoimprintmoduls zeigen das große Potential. Ziel des Transferprojektes ist es, das im Graduiertenkolleg gezeigte Proof-of-concept in einem neuen Prototyp einer Multiachs-Nanofabrikationsmaschine mit deutlich erhöhten messtechnischen Eigenschaften umzusetzen und gemeinsam mit dem Anwendungspartner zu testen. Damit soll die Lösung eines großen messtechnischen Problems der hochpräzisen Messung, insbesondere von optischen Präzisionsoberflächen, wie Asphären und Freiformflächen, demonstriert werden. Für das laufende Graduiertenkolleg bietet sich damit die Möglichkeit, auch die Nanofabrikation auf solchen Oberflächen signifikant voranzutreiben. Im Zentrum des neu-artigen Lösungsansatzes steht die Kombination einer zweiachsigen Rotationskinematik mit Hemisphärenspiegel und integriertem 3-Achs-Mikrointerferometer mit einer neuen Tetraeder-Nanopositionier- und Nanomessmaschine und der Möglichkeit zur Integration von diversen Nanoantastsensoren bzw. Nanotools.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen (Transferprojekt)
• Anwendungspartner: SIOS Meßtechnik GmbH