Einsatz mikromechanischer Verfahren zur Realisierung eines intensitätsmodulierenden optischen Mikrofons auf Siliziumbasis

• Applicant: Professor Dr. Gerhard M. Sessler
• Subject Area: Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
• Term: from 1996 to 2002
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5248408

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• DFG Programme: Research Grants