Einsatz mikromechanischer Verfahren zur Realisierung eines intensitätsmodulierenden optischen Mikrofons auf Siliziumbasis

• Antragsteller: Professor Dr. Gerhard M. Sessler
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1996 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5248408

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen