Untersuchungen des Einflusses von Struktur und Morphologie auf die Eigenschaften gassensitiver Schichten für akustische- und Leitfähigkeitssensoren

• Applicant: Dr. Olena Berger
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2000 to 2004
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5251698

Die immer umfangreicheren Aufgaben bei der permanenten Kontrolle gasförmiger Schadstoffe in der Luft erfordern portable Meßgeräte, die mit einer neuen Generation mittels Mikrotechnik hergestellter Gassensoren ausgerüstet sind. Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt in der Herstellung und Charakterisierung dünner gassensitiver organischer (MPc) und anorganischer (Metalloxide) Schichten unter Berücksichtigung der Anforderungen der Signalverarbeitung. Dabei werden der Einfluß, den die Morphologie und die Schichtstruktur auf die sensitiven Eigenschaften haben am Beispiel von Leitfähigkeits- udn OAW-Sensoren untersucht. Besondere Aufmerksamkeit wird der Korrelation zwischen Herstellungparametern (bestehend aus Abscheidung und Nachbehandlung), Phasenzusammensetzung, Struktur und Morphologie der MPc- und metalloxidischen Schichten und den für Gassensoren wichtigen Leistungskriterien wie Empfindlichkeit, Selektivität, Reversibilität, Reproduzierbarkeit und Langzeitstabilität gewidmet. Ein weiterer wichtiger Punkt ist die Untersuchung der Grenzflächeneigenschaften zwischen der MPc- bzw. metalloxischer dünner Schicht und dem Substrat sowie den Grenzflächeneigenschaften zwischen Schicht und Gasphase. Durch die Arbeit wird ein besseres Verständnis des Mechanismus der Gas-Sensor Wechselwirkung ermöglicht.

• DFG Programme: Research Grants