Untersuchung der Elektromigration mittels Kombination von REM und RTM mit der Einzelorientierungsmessung

• Antragsteller: Professor Dr. Robert Schwarzer
• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung von 1996 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5262042

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen