Untersuchung der Elektromigration mittels Kombination von REM und RTM mit der Einzelorientierungsmessung

• Applicant: Professor Dr. Robert Schwarzer
• Subject Area: Synthesis and Properties of Functional Materials
• Term: from 1996 to 2002
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5262042

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• DFG Programme: Research Grants