Widely tunable, highly selective optical filter and receiver elements for WDM systems.
Final Report Abstract
Im Rahmen des durchgeführten Projekts wurden durchstimmbare optische Filterbauelemente in MEMS-bauweise entwickelt und hergestellt. Die Filter basieren auf dem Fabry-Perot Prinzip und bestehen aus zwei InP/Luftspalt Braggreflektoren, welche eine Kavität (ebenfalls Luft) einschließen. Durch elektrostatische Aktuation der Spiegel wird die Kavitätslänge eingestellt und somit die Filterwellenlänge durchgestimmt. Die monolithische Integration eines Photodetektors mit diesen Filter wurde untersucht. Hierzu wurden Prozeßschritte überarbeitet, systematisch untersucht bzw. neu entwickelt. Als Schwerpunkte wurden die Gradientenverspannung der InP Schichten und deren Kompensation, der naßchemische Opferschichtprozeß sowie die elektrischen Kontakte des Bauteils detailliert charakterisiert. Neue Ansätze zur Optimierung der Detektorgeometrie und die Entwicklung einer lichtabsorbierenden Schutzschicht wurden durchgeführt. Die durchstimmbaren Filter/Detektor-Bauelemente wurden unter Einbeziehung eines neuen Entwurfs und der entwickelten Schritte prozessiert.
