Beeinflussung der Schichteigenschaften durch ionenstromadaptierte Bogenstromführung

• Applicant: Professor Dr. Christian Edelmann
• Subject Area: Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
• Term: from 2000 to 2003
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5296562

Die geplanten Untersuchungen dienen dem Ziel, den Verdampferstrom bei der Vakuumlichtbogenbeschichtung in seinem Verlauf, seiner Impulsform und seinen Parametern so zu steuern, daß ein optimaler Ionenstrom am Substrat auftritt (ionenstromadaptierter Bogenstromführung). Dem Verfahren liegt die Idee zu Grunde, einzelne, während eines Stromimpulses ablaufende Prozesse der Schichtbildung gezielt steuern zu können. Aus dem bisherigen Erkenntnisstand zur Prozeßbeeinflußung durch die elektronische Stromversorgung beim modifizierten Puls-ArcVerfahren ergibt sich die Annahme, die Eigenschaften der abgeschiedenenHartstoffschicht definiert über den durch die elektrischen Parameter der Pulsstromversorgung vorgegebenen Strom der schichtbildenden Metallionen steuern zu können.

• DFG Programme: Research Grants