Beeinflussung der Schichteigenschaften durch ionenstromadaptierte Bogenstromführung

• Antragsteller: Professor Dr. Christian Edelmann
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2000 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5296562

Die geplanten Untersuchungen dienen dem Ziel, den Verdampferstrom bei der Vakuumlichtbogenbeschichtung in seinem Verlauf, seiner Impulsform und seinen Parametern so zu steuern, daß ein optimaler Ionenstrom am Substrat auftritt (ionenstromadaptierter Bogenstromführung). Dem Verfahren liegt die Idee zu Grunde, einzelne, während eines Stromimpulses ablaufende Prozesse der Schichtbildung gezielt steuern zu können. Aus dem bisherigen Erkenntnisstand zur Prozeßbeeinflußung durch die elektronische Stromversorgung beim modifizierten Puls-ArcVerfahren ergibt sich die Annahme, die Eigenschaften der abgeschiedenenHartstoffschicht definiert über den durch die elektrischen Parameter der Pulsstromversorgung vorgegebenen Strom der schichtbildenden Metallionen steuern zu können.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen