Spektroskopisches Ellipsometer

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2024
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 530008779

Der Lehrstuhl Experimentalphysik IV am Institut für Physik der Universität Augsburg beschäftigt sich mit grundlagen- und anwendungsorientierter Forschung an Dünnschichtsystemen. Dazu gehören insbesondere organische Halbleiter (z.B. organische Leuchtdioden für Displays), magnetische Dünnschichten für Datenspeicher, komplexe Oxide für Thermoelektrika oder photoelektrochemische Zellen sowie Diamantschichten. Eine zentrale optische Untersuchungsmethode ist dabei die spektroskopische Ellipsometrie, bei der aus Änderungen des Polarisationszustands von Licht beim Durchgang durch ein Dünnschichtsystem auf wichtige Parameter wie die Schichtdicke oder den komplexen Brechungsindex geschlossen werden kann. Des Weiteren spielen optische Anisotropie sowie Depolarisation in vielen Systemen eine essenzielle Rolle, die es messtechnisch aber auch in der Auswertung korrekt zu erfassen und zu beschreiben gilt. Das beantragte spektroskopische Ellipsometer soll daher ein ca. 20 Jahre altes Gerät ersetzen, das nicht mehr dem Stand von Wissenschaft und Technik entspricht. Die Ellipsometrie ist für den Lehrstuhl von zentraler und strategischer Wichtigkeit, um die optische Analyse von unterschiedlichsten Dünnschichtsystemen, die im Zentrum unserer Forschungsaktivitäten liegen, durchzuführen. Insbesondere sind dies hier organische Halbleiterschichten und komplexe Oxide. Eine Reihe von drittmittelgeförderten Projekten – siehe die Aufstellung der Drittmittelprojekte im Antrag – hängen an dieser dringend benötigten und unerlässlichen Analysemethode.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Spektroskopisches Ellipsometer
• Gerätegruppe: 5360 Meßgeräte für gestreutes und reflektiertes Licht, optische Oberflächen-Prüfgeräte
• Antragstellende Institution: Universität Augsburg
• Leiter: Professor Dr. Wolfgang Brütting