CVS von nanokristallinen Metalloxid-Schichten mittels Pyrolyse von molekularen Metallsiloxiden

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Frank Einar Kruis
• Fachliche Zuordnung: Chemische und Thermische Verfahrenstechnik
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5313348

Metallorganische Substanzen finden immer mehr Verwendung als leicht zu verdampfende "single-source" Vorstufen für metalloxidische Materialien. Die von der Ruhr-Universität-Bochum hergestellten flüchtigen, molekularen ZnO-Vorstufen werden im Hinblick auf eine Synthese von ZnO und deren Deposition in nanoskalierter Form auf Oberflächen untersucht. Durch systematische Variation der Substituenten am Zink und Silicium sollen neue, thermolabile Derivate synthetisiert und deren Zersetzungseigenschaften auch im Festkörper untersucht werden. Die Untersuchung der Zersetzung der Verbindungen in der Gasphase, die zur Partikelbildung führt, ist Gegenstand der Arbeiten der Gerhard-Mercator-Universität. Im Vordergrund steht dabei die Bestimmung der Partikelgrößenverteilung und Struktur der entstandenen nanokristallinen ZnO Partikel. Die ZnO Partikel werden auf ihre potentielle Eignung für Gassensoren oder in sehr dünnen Schichten mit einstellbaren optischen Eigenschaften untersucht.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1119: Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren