Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen

• Applicants: Professorin Dr.-Ing. Nadejda Popovska-Leipertz; Professor Dr. Ulrich Zenneck
• Subject Area: Inorganic Molecular Chemistry - Synthesis and Characterisation ; Technical Chemistry
• Term: from 2001 to 2008
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5313478

Das gemeinsame Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung einer Technologie zur Abscheidung von Übergangsmetall und -metalloxidfilmen aus neuartigen Precursoren (Chemie) am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram durch optimierte MOCVD-Verfahren (Ingenieurswissenschaften). Die Kombination von Arbeits- und Vorgehensweise aus den Ingenieurswissenschaften (Emig/Popovska) und der Chemie (Zennecke) ermöglicht die Erreichung des anspruchsvollen Ziels.

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1119: Inorganic Materials through Vapor-Phase Synthesis: Interdisciplinary Concepts for Development, Understanding and Controlling of CVD Processes