Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen

• Antragstellerinnen / Antragsteller: Professorin Dr.-Ing. Nadejda Popovska-Leipertz; Professor Dr. Ulrich Zenneck
• Fachliche Zuordnung: Anorganische Molekülchemie - Synthese, Charakterisierung ; Technische Chemie
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2008
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5313478

Das gemeinsame Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung einer Technologie zur Abscheidung von Übergangsmetall und -metalloxidfilmen aus neuartigen Precursoren (Chemie) am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram durch optimierte MOCVD-Verfahren (Ingenieurswissenschaften). Die Kombination von Arbeits- und Vorgehensweise aus den Ingenieurswissenschaften (Emig/Popovska) und der Chemie (Zennecke) ermöglicht die Erreichung des anspruchsvollen Ziels.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1119: Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren