MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse.

• Antragsteller: Professor Dr. Jens Müller
• Fachliche Zuordnung: Anorganische Molekülchemie - Synthese, Charakterisierung
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2004
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5313664

Das gemeinsame Projektziel der Antragsteller ist die Entwicklung neuer Herstellungsprozesse für Gruppe-III-Nitridhalbleiter auf der Basis intramolekular adduktstablilisierter Alkyl/Amid-Derivate. Diese Prozesse sollen eine billigere, effizientere und sichere Alternative zum klassischen Verfahren für die Massenproduktion von einfachen Nitrid-Bauteilen für die Beleuchtungstechnik (LEDs) bieten. Diese Ziele sollen durch eine interdisziplinäre Zusammenarbeit von Ingenieuren und Chemikern aus den Bereichen Strömungsmechanik, Materialwissenschaft, Metallorganische Synthesechemie, Gasphasenanalytik und Theoretische Chemie erreicht werden. Dabei soll der Gesamtprozess der Chemischen Dampfabscheidung von der Synthese hochreiner Vorläufermoleküle über die Analyse von Gasphasenspecies bis zur Materialabscheidung, sowohl mit theoretischen als auch mit experimentellen Methoden aufgeklärt werden.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1119: Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren