Entwicklung eines Mess- und Antriebssystems für eine 3D-Präzisions-Messmaschine

• Applicant: Dr.-Ing. Christoph Schäffel (†)
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2001 to 2004
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5316909

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• DFG Programme: Research Grants