Fabrication of monolithic bidirectional switches (MBS)

• Applicant: Professor Dr. Heinrich Kurz (†)
• Subject Area: Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
• Term: from 2001 to 2004
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5317284

Innerhalb des DFG-Schwerpunktprogramms "Halbleiterbauelemente hoher Leistung" wurde im Teilprojekt "Hochsperrende Zweirichtungsventile" der TU Braunschweig (Gruppe Prof. Sittig) eine neue Bauelementstruktur zur Patentanmeldung eingereicht. Es wird angestrebt, diesen bislang nur auf Konzeptskizzen und Simulationen basierenden MOS-gesteuerten bidirektionalen Schalter (MBS) in einer für die Halbleitertechnologie der Mikroelektronik nicht typischen, doppelseitigen Prozesstechnologie monolithisch auf intrinsischem Silizium zu erarbeiten. Im Rahmen dieser Technologie-Vorlaufstudie wird erwartet, dass die prognostizierten hervorragenden elektrischen Daten des MBS anhand von realen Bauelementmustern bestätigt werden können. Die Forschungsarbeiten erfolgen in enger Kooperation mit dem Simulationspartner TU Braunschweig, der auch die Charakterisierung der realisierten Bauelemente übernehmen wird.

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1038: Halbleiterbauelemente hoher Leistung