Technologische Umsetzung eines Konzepts zur Herstellung MOS-gesteuerter bidirektionaler Schalter (MBS)

• Antragsteller: Professor Dr. Heinrich Kurz (†)
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2004
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5317284

Innerhalb des DFG-Schwerpunktprogramms "Halbleiterbauelemente hoher Leistung" wurde im Teilprojekt "Hochsperrende Zweirichtungsventile" der TU Braunschweig (Gruppe Prof. Sittig) eine neue Bauelementstruktur zur Patentanmeldung eingereicht. Es wird angestrebt, diesen bislang nur auf Konzeptskizzen und Simulationen basierenden MOS-gesteuerten bidirektionalen Schalter (MBS) in einer für die Halbleitertechnologie der Mikroelektronik nicht typischen, doppelseitigen Prozesstechnologie monolithisch auf intrinsischem Silizium zu erarbeiten. Im Rahmen dieser Technologie-Vorlaufstudie wird erwartet, dass die prognostizierten hervorragenden elektrischen Daten des MBS anhand von realen Bauelementmustern bestätigt werden können. Die Forschungsarbeiten erfolgen in enger Kooperation mit dem Simulationspartner TU Braunschweig, der auch die Charakterisierung der realisierten Bauelemente übernehmen wird.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1038: Halbleiterbauelemente hoher Leistung