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Einfluß von Plasmaparametern auf Schichtbildung und Schichteigenschaften (A11)
Fachliche Zuordnung
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
Förderung
Förderung von 1996 bis 2004
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5472541
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Teilprojekt zu
SFB 198:
Kinetik partiell ionisierter Plasmen
Antragstellende Institution
Universität Greifswald
Teilprojektleiter
Professor Dr. Rainer Hippler; Dr. Hartmut Steffen; Privatdozent Dr. Harm Wulff