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n-Dotierung von Diamant durch Einbau von Schwefel

Subject Area Experimental Condensed Matter Physics
Term from 2001 to 2003
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5336116
 
Ziel des geplanten Forschungsvorhabens ist es, durch Einbau von Schwefel während der chemischen Gasphasenabscheidung im Mikrowellenplasma mittels einer vorhandenen borfreien Anlage eine n-Leitung von Diamant zu erzielen. Ausgehend von eigenen Vorarbeiten, bei denen bereits gezeigt wurde, daß Schwefel durch Zugabe von H2S erfolgreich in die Schichten eingebaut werden kann, soll nun dieser Prozeß systematisch untersucht und optimiert werden. Besonderes Augenmerk gilt der elektrischen Aktivität des Schwefels im Diamantgitter sowie ihrer gezielten Beeinflussung durch geeignete Prozeßführung während und nach der Schichtherstellung. Für die elektrische Charakterisierung wird eine Technologie zur Herstellung ohmscher Kontakte entwickelt. Über Messungen des Halleffekts, der Photoleitfähigkeit sowie der Kathodolumineszenz soll grundsätzlich geklärt werden, ob Schwefel als Donator eingebaut werden kann und welche Bedingungen hierfür notwendig bzw. begünstigend sind.
DFG Programme Research Grants
Participating Person Dr. Matthias Schreck
 
 

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