Harte Sol-Gel-Schichten für den optischen Formenbau durch Ionenstrahlbehandlung (H02)

• Fachliche Zuordnung: Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5484947

In der zweiten Förderphase wurden defektfreie Sol-Gel-SiOxCy-Beschichtungen mit einer Schichtdicke bis 18 μm entwickelt, mit Diamantwerkzeugen strukturiert und im Rahmen der durchgeführten Prozessketten beim Spritzprägen von PMMA-Linsen erfolgreich getestet. Im TP wurde der Einfluss von Ionenbestrahlung auf die mechanischen und chemischen Eigenschaften dieser Schichten untersucht. Dabei wurden ungewöhnlich hohe Härtesteigerungen auf über 8 GPa HM beobachtet, was ein Faktor 3 über dem durch thermische Härtung erreichbaren Härtewert liegt. Im Weiteren werden die werkstoffwissenschaftlichen Mechanismen für diese Härtesteigerung untersucht und diese Technologie zusammen mit weiteren TPen für die Herstellung diamantbearbeiteter und mikrostrukturierter Formeinsätze hoher Standzeit umgesetzt.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 4: Prozessketten zur Replikation komplexer Optikkomponenten
• Antragstellende Institution: Universität Bremen
• Teilprojektleiter: Dr.-Ing. Andreas Mehner; Professor Dr.-Ing. Hans-Werner Zoch