Detailseite
Applikative Systemlösungen (A 3)
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 1995 bis 2000
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5479322
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Teilprojekt zu
SFB 379:
Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
Antragstellende Institution
Technische Universität Chemnitz
Teilprojektleiter
Professor Dr. Steffen F. Bocklisch; Professor Dr.-Ing. Gunter Ebest (†); Professor Dr. Thomas Geßner (†); Professor Dr. Christian Radehaus