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Person

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Professor Dr. Thomas Geßner (†)

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik (Sachbeihilfen)
  - Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika (Sachbeihilfen)
  - NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems (Sachbeihilfen)
  - Modellierung von Nanodevices (Forschungsgruppen)
Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
  - Beschichtungsanlage (Forschungsgroßgeräte)
  - DRIE-Plasmaanlage (Forschungsgroßgeräte)
Als Sprecher
- abgeschlossene Projekte
  - SFB 379: Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays (Sonderforschungsbereiche)
  - GRK 1215: Materialien und Konzepte für fortschrittliche Metallisierungssysteme (Internationale Graduiertenkollegs)
Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
  - Neue Technologieplattform für die "Oberflächennahe Silizium-bulk-Mikromechanik" (Sonderforschungsbereiche)
  - Applikative Systemlösungen (Sonderforschungsbereiche)
  - Positioniersystem (Sonderforschungsbereiche)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - MOS-Detektion für Nanoresonatoren (Forschungsgruppen)
Als Ehemaliger Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Neuartige nanoskalige reaktive Materialsysteme als interne Wärmequelle für Fügeverfahren - nanoreaktiF (Sachbeihilfen) bis 7/2016
  - Mikromechanische kapazitive Wandler für berührungsfreie und phasengesteuerte Ultraschallprüfung (Sachbeihilfen) bis 7/2016
  - Zentralprojekt (Forschungsgruppen) bis 7/2016

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