Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik

Antragsteller Professor Dr. Thomas Geßner (†)

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik

Förderung Förderung von 2002 bis 2007