Rechnergestützter Entwurf von anisotrop geätzten Mikrostrukturen (D 1)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2000
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5481479

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 438: Mathematische Modellierung, Simulation und Verifikation in materialorientierten Prozessen und intelligenten Systemen
• Antragstellende Institution: Technische Universität München (TUM)
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Gerhard K.M. Wachutka