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Integriert optische Schaltmatrix mit elektrostatischem Antrieb
Antragsteller
Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 2002 bis 2008
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5361880
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Schwerpunktprogramme