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Herstellung von polytypreinen defektarmen SiC-Volumenkristallen aus der flüssigen Phase

Subject Area Theoretical Condensed Matter Physics
Term from 2002 to 2006
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5469528
 
Im Rahmen des geplanten Vorhabens sollen Untersuchungen zur Herstellung von defektarmen einkristallinen SiC-Schichten und Volumenkristallen mit definiertem Polytyp aus der flüssigen Phase (Lösung) durchgeführt werden. Dabei werden erstmals die Prozeßbedingungen analysiert, die zu stabilem Kristallwachstum eines bestimmten SiC-Polytyps bei der Lösungszüchtung führen. Am Lehrstuhl Werkstoffe der Elektrotechnik steht eine einzigartige Apparatur für die Untersuchungen zur SiC-Kristallisation aus der flüssigen Phase zur Verfügung. Diese Anlage ermöglicht die Prozeßführung bei hohen Temperaturen und hohen Drücken und erschließt somit einen neuen Parameterraum für die Züchtung von SiC-Kristallen unterschiedlicher Kristallmodifikation (4H, 6H, 15R) und niedrigerer Defektdichte aus der Schmelzlösung.
DFG Programme Research Units
Participating Person Professor Dr. Albrecht Winnacker
 
 

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