Metrologie der NPM-Maschinen (A01)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Im Teilprojekt A1 werden die wissenschaftlichen Grundlagen zum metrologischen Entwurf und zur Analyse von Teilsystemen bis hin zum Gesamtsystem von NPM-Maschinen sowie deren Einbettung in das metrologische Umfeld weiterentwickelt. Gegenstand der Arbeiten im neuen Antragszeitraum soll die Erarbeitung und Systematisierung von Einsatzszenarien für NPM-Maschinen unter dem Gesichtspunkten Messbereiche, Messunsicherheiten, Messdynamik und Rückführstrategien/ Kalibrierung sein. Dabei sind die Grenzen metrologischer Konzepte für NPM-Maschinen mit Messvolumina bis 450 x 450 x 80 mm3, Messauflösungen bis 0,01 nm und Reproduzierbarkeiten bis 0,3 nm auszuloten. Die Beschreibung und Analyse von Teilsystemen und deren Schnittstellen anhand komplexer metrologischer Modelle, abgestimmt auf die jeweiligen Tast- und Sensorsysteme bilden weitere Arbeitsschwerpunkte.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Roland Füßl; Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske