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Person
Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske
Adresse
Technische Universität Ilmenau
Fakultät für Maschinenbau
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Postfach 10 05 65
98684 Ilmenau
- Als Antragsteller
- Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
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Nanopositionier- und Nanomessmaschine (Forschungsgroßgeräte) - Nanofabrikationsmaschine (Forschungsgroßgeräte)
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- abgeschlossene Projekte
- Als Sprecher
- laufende Projekte
- abgeschlossene Projekte
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SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Sonderforschungsbereiche)
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- laufende Projekte
- Als beteiligter Wissenschaftler
- Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
- Konstruktion, Aufbau und Erprobung der Maschine (Sonderforschungsbereiche)
- Metrologie der NPM-Maschinen (Sonderforschungsbereiche)
- Nanomesstechnik (Sonderforschungsbereiche)
- Integriertes Graduiertenkolleg (Sonderforschungsbereiche)
- Zentrale Aufgaben für den SFB (Sonderforschungsbereiche)
-
- abgeschlossene Projekte
- Als Beteiligte Person
