Konstruktion, Aufbau und Erprobung der Maschine (T02)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2008 bis 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Das Teilprojekt T02 (Konstruktion, Aufbau und Erprobung der Maschine) setzt die im Sonderforschungsbereich 622 gewonnenen wissenschaftlichen Grundlagenergebnisse zum konstruktiven Entwicklungsprozess und dem konstruktiven Aufbau von NPM für die Erstellung eines NPMM-Labormusters mit einem Arbeitsvolumen von 200 mm x 200 mm x 25 mm bei einer Positionsauflösung von 0,08 nm und einer erreichbaren 3-D-Messunsicherheit von < 30 nm um. In enger Kooperation mit dem Teilgebiet T01 (Metrologische Verifikation) und den Verbundteilprojekten VT1 (Mess- und Antastsysteme) und VT2 (Antriebssysteme) werden der mechanische Gesamtaufbau sowie die Baugruppen und deren Koppelstellen mit dem Ziel einer optimalen Funktionserfüllung konstruiert. Das Teilprojekt T02 führt die in den Verbundprojekten realisierten Teilsysteme zusammen und übernimmt die Gesamtmontage.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche (Transferprojekt)
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Unternehmen: Jenoptik; Mahr GmbH
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Gerd Jäger; Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske; Professor Dr.-Ing. René Theska