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Pico-AFM höchster Präzision für die Nanometrologie und Nanofabrikation

Fachliche Zuordnung Messsysteme
Förderung Förderung von 2015 bis 2021
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 274917136
 
Der Projektgegenstand ist ein Pico-AFM höchster Präzision mit aktiven Sonden für Hochgeschwindigkeitsmessungen und Nanofabrikation in großen Bereichen. Die aktiven Cantilever mit thermomechanischer Aktuation, piezoresistiven Auslenkungsdetektion und langlebigen Diamantspitzen bieten in Verbindung mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine ein sehr großes Potential bei der Vermessung und Inspektion von Nanostrukturen mit Subnanometerauflösung innerhalb des ganzes Bewegungsbereiches der Nanomessmaschine. Für die hochpräzisen AFM-Messungen soll die Rückführbarkeit der Erfassung der Cantileverauslenkung gewährt werden. Dies wird mittels des in der ersten Projektphase konzipierten optischen Pico-Lagedetektors realisiert.
DFG-Verfahren Sachbeihilfen
 
 

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