Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche (A05)

• Fachliche Zuordnung: Automatisierungstechnik, Mechatronik, Regelungssysteme, Intelligente Technische Systeme, Robotik
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Das Ziel im Teilprojekt A5 ist die Erarbeitung wissenschaftlicher Grundlagen für die Gestaltung hochgenauer Positioniersysteme auf Basis integrierter Mehrkoordinatenantriebe mit einer Messauflösung von bis zu 0,01 nm, einer Positionierreproduzierbarkeit von 1 nm und einem Verfahrbereich von bis zu 450 x 450 x 80 mm3. Neben theoretischen und experimentellen Untersuchungen zum Antriebssystem umfassen die Arbeiten insbesondere auch die Erforschung geeigneter magnetischer Führungen. Für alle betrachteten Teilsysteme sind die Grundlagen für den Einsatz im Vakuum und eine Minimierung der Verlustleistung zu erforschen.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Mitantragstellende Institution: IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Thomas Sattel; Dr.-Ing. Christoph Schäffel (†)