Nanopositioning Systems for Large Travel Ranges (A05)

• Subject Area: Automation, Mechatronics, Control Systems, Intelligent Technical Systems, Robotics
• Term: from 2002 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Das Ziel im Teilprojekt A5 ist die Erarbeitung wissenschaftlicher Grundlagen für die Gestaltung hochgenauer Positioniersysteme auf Basis integrierter Mehrkoordinatenantriebe mit einer Messauflösung von bis zu 0,01 nm, einer Positionierreproduzierbarkeit von 1 nm und einem Verfahrbereich von bis zu 450 x 450 x 80 mm3. Neben theoretischen und experimentellen Untersuchungen zum Antriebssystem umfassen die Arbeiten insbesondere auch die Erforschung geeigneter magnetischer Führungen. Für alle betrachteten Teilsysteme sind die Grundlagen für den Einsatz im Vakuum und eine Minimierung der Verlustleistung zu erforschen.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Co-Applicant Institution: IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH
• Project Heads: Professor Dr.-Ing. Thomas Sattel; Dr.-Ing. Christoph Schäffel (†)