Charakterisierung und Nanostrukturierung von halbleitenden Substraten mit Rastersondenmikroskopie

• Antragsteller: Professor Dr. Joachim Walter Schultze (†)
• Fachliche Zuordnung: Physikalische Chemie
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2004
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5380108

... Es sollen nun die Anfangsstadien der Oxidbildung in Abhängigkeit von der Substratstruktur untersucht werden. Dazu werden die Analysemethoden Rastertunnelmikroskopie STM und Kraftmikroskopie AFM sowie abgeleitete Spektroskopieformen ... eingesetzt. Weiterhin sollen höhere Strukturen mit größerem Aspektverhältnis erzeugt werden. Zur Charakterisierung sind Vergleichsmessungen mit makroskopischen Schichtsystemen geplant. In einem weiteren Schritt soll durch integrales und lokales Ätzen versucht werden, das Aspektverhältnis zu beeinflussen, um beliebige Nanostrukturen zu erzeugen. Schließlich ist die Potentialverteilung zwischen Probe und Sonde aufzuklären. Dazu wird der Einfluß des Flüssigkeitsfilms ... auf die Lokalisierung der Oxidation untersucht. Der Potentialabfall im Halbleiter soll durch Vergleichsmessungen mit verschieden dotierten Si-Wafern (n- und p-Si) ermittelt und mit theoretischen Berechnungen verglichen werden.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1030: Grundlagen der elektrochemischen Nanotechnologie