Rasterelektronenmikroskop (SEM)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung in 2024
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 538872483

Nanotechnologie ist eine Triebfeder für wissenschaftlichen und technischen Fortschritt. Photonische und quantentechnologische Konzepte haben im Forschungsumfeld ihr Potential bewiesen und verändern in immer stärkerem Masse in Bereichen der Kommunikation, optischer Technologien, (photovoltaischer) Energiegewinnung und zahlreichen weiteren Feldern unser Leben. Der Schritt von der Forschung in die Anwendung benötigt Miniaturisierung und Integration. Das Mikrostrukturlabor des 4. Physikalischen Instituts als Zentrallabor für die Mikro- und Nanostrukturierung (core facility) stellt weit über 20 Großgeräte zur Strukturierung und Charakterisierung zur Verfügung und ist daher von herausgehobener Bedeutung in diesem Zusammenhang. Rasterelektronenmikroskopie zur Prozesskontrolle und zum Aufbau eines Prozessverständnisses ist unerlässlich für den weiteren Erfolg. Der Einbau dieses Schrittes vor Ort und direkt während der Prozessketten ist hierbei unerlässlich. Aufgrund der angestrebten Strukturgrößen ist höchste Abbildungsauflösung nötig, die hier in Aufsicht- sowie Durchsichtrasterelektronenmikroskopie erreicht wird. Rasterelektronenmikroskopie (SEM) ist hierbei als höchstauflösende und materialspezifische Charakterisierungmethode von großer Bedeutung, da jeder Fortschritt in Strukturierung exaktes Wissen über die Ergebnisse benötigt. Hierbei werden Metalle und Dielektrika in Mehrlagensystemen, Integration von quantenoptischen Komponenten wie Farbzentren in (Nano-)Diamanten, Morphologie und Integration von organischen und anorganischen Filmen wie Perovskiten sowie zweidimensionaler Materialen wie Metalldichalkogeniden im Mittelpunkt stehen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Rasterelektronenmikroskop (SEM) - Teilfinanzierung
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Universität Stuttgart
• Leiter: Professor Dr. Harald Giessen